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09

2026

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ZYGO 不唯一，德国 大视场技术实现高精度大视野兼容

在白光干涉三维形貌计量领域，ZYGO 的 CSI 相干扫描干涉方案长期是行业标杆，但其原生大视场方案存在明显约束：专用广角物镜与常规高倍干涉物镜光学架构差异大，齐...

09

2026

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11

超越 ZYGO 传统架构，德国 大视场（Large Fie...

白光干涉仪（WLI，White Light Interferometer）是半导体、MEMS 器件、薄膜形貌检测主流的非接触三维轮廓测量设备。ZYGO 传统相干扫...

06

2026

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突破 ZYGO 视野方案，德国大视场技术可兼容全系高倍物镜

传统 ZYGO 白光干涉仪的大视场方案依赖专属 ZWF 大视野物镜，属于独立专用镜头配置，高倍物镜与大视场能力相互割裂，高倍模式下横向观测范围受限，想要兼顾全域扫...

06

2026

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白光干涉仪的开展趋势：高精度为基础，大视场（Large Fi...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）基于低相干干涉原理，依靠亚纳米级垂直分辨率，长期作为微纳形貌表征的核心计量设备，广泛用...

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