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06

2026

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突破 ZYGO 视野方案，德国大视场技术可兼容全系高倍物镜

传统 ZYGO 白光干涉仪的大视场方案依赖专属 ZWF 大视野物镜，属于独立专用镜头配置，高倍物镜与大视场能力相互割裂，高倍模式下横向观测范围受限，想要兼顾全域扫...

06

2026

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11

白光干涉仪的开展趋势：高精度为基础，大视场（Large Fi...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）基于低相干干涉原理，依靠亚纳米级垂直分辨率，长期作为微纳形貌表征的核心计量设备，广泛用...

05

2026

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白光干涉仪的技术壁垒并非仅在精度，而在大视场（Large F...

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依托短相干干涉原理，小视场下亚纳米级纵向测量精度方案已经成熟，相关指标同质化程度较高，...

05

2026

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白光干涉仪的工程应用难点：大视场下保持纳米级测量稳定性

白光干涉仪（White Light Interferometer, WLI）依靠短相干干涉原理，在小视场条件下可稳定实现亚纳米级纵向形貌测量，是半导体先进封装、高...

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